松江经济技术开发区管理委员会

关于尼西半导体科技（上海）有限公司

扩建项目新增污染物总量指标的函

松江区生态环境局：

尼西半导体科技（上海）有限公司扩建项目位于上海市松江区茸康路109弄91号8幢、9幢厂房及茸康路135号1幢、2幢、3幢厂房，主要从事场效应管、集成电路、二极管等产品生产。2024年度产值63876万元，税收1819万元。

本次项目主要建设内容包括：①挖掘现有产线潜能，新增场效应管生产能力50百万件/年。②优化现有产品生产工艺，新增引线键合、研磨、去毛刺等工艺，增加现有的背面减薄、背面腐蚀、塑封、烘烤、切割清洗等工序工作量。③调整厂区平面布置，将C/C3厂房内2条镀锡线（一用一备）整体搬迁至A厂房二层，并在A厂房内新增镀锡前处理研磨间等。④扩大B1厂房测试车间和实验室面积。新增生产工艺中涉及新增废气的为键合、塑封、烘烤、去毛刺等工序产生的VOCs，背面腐蚀工序产生的NOx，VOCs排放量为0.639 t/a，NOx排放量为0.0143 t/a。VOCs经机台/集气罩+车间密闭收集“水喷淋塔+除湿+2道活性炭吸附装置”或活性炭吸附处理后于15m以上高排气筒排放；NOx经机台+车间密闭收集碱液喷淋塔处理后于24m高排气筒排放。

松江经济技术开发区管理委员会同意该项目建设，所需废气主要污染物VOCs总量指标为1.278 t/a，NOx总量指标经核算为0.0286 t/a，特申请废气污染物总量指标从区级总量指标中统筹平衡。

特此函告。

                      2025年3月26日